半导体行业硅烷废气处理工艺

文章出处：鑫蓝环保鑫蓝动态网责任编辑：蔡作者：蔡人气：-发表时间：2023-04-19 00:00:00【大中小】

1.硅烷废气简述

多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。硅烷废气属于有D、易R易B的废气，它对人身体健康有伤害，因此，企业在工业生产活动过程产生硅烷废气，为了保持良好的工作条件和防止破坏自然环境，需要对工业生产过程对产生的硅烷废气处理，显得尤为重要。

2.硅烷废气处理工艺

硅烷废气具有易R易B气体，同时又属于弱酸性气体，因此，对于硅烷废气处理可采用碱洗法、燃烧法处理即可处理，接下来鑫蓝环保小编详细介绍硅烷废气处理工艺。

（1）碱洗法

将集气罩收集硅烷废气通过管道输送进入碱洗塔，经碱洗塔酸碱中和处理，达标排放。

（2）燃烧法-TO直燃炉

采用TO直燃式废气焚烧技术，对氧化和碳化过程中产生的废气进行焚烧。该废气焚烧装置在有效处理废气的同时，还能将焚烧产生的热量进行回收利用，如通过热交换器，将废气中的热量传递给氧化用的新鲜空气，节约了一定的能源。TO直燃炉由全自动点火器将喷入燃烧室的柴油点燃，所有废气在燃烧室里被加热到大约850℃，有毒气体在燃烧室里被高温焚烧掉。由低温和高温碳化炉排放出的高浓度有毒废气直接通过喷嘴（管口）进入燃烧室。氧化炉排放出的大流量废气被分成两股，一小部分被用作助燃空气，另一部分在温度为650℃以上的废气预热器中与焚烧炉排放标准的尾气，经换热器将热量传递给供氧化炉使用新鲜空气。