- [鑫蓝动态]三氟化氮废气处理工艺-鑫蓝环保[ 2025-06-10 00:00 ]
- 三氟化氮(NF?)是一种广泛应用于半导体制造、平板显示和光伏行业的特种气体,但其高全球变暖潜能值(GWP,约为17,200)和潜在的环境危害性(高温分解后可能生成HF、NOx等有毒物质)使其废气处理成为工业环保领域的重要课题。以下是三氟化氮废气处理的主要工艺及技术要点: 一、处理目标 分解NF?:将其转化为无害或低危害物质(如N?、F?等)。 控制副产物:避免分解过程中产生HF、NOx等二次污染物。 &nbs
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http://www.ksxinlan.cn/Article/sfhdfqclgyxlhb_1.html
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