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[鑫蓝动态]半导体行业废气处理工艺推荐-鑫蓝环保[ 2025-07-28 00:00 ]: 半导体行业在生产过程中会产生多种废气，包括挥发性有机化合物（VOCs）、酸性气体、碱性气体、有毒气体以及颗粒物等。这些废气若未经有效处理直接排放，会对环境和人体健康造成严重危害。以下是针对半导体废气处理的推荐工艺，结合了技术成熟度、处理效率、运行成本及环保要求等因素：一、挥发性有机化合物（VOCs）处理工艺沸石转轮吸附浓缩+RTO（蓄热式热氧化）工艺原理：沸石转轮利用其多孔结构吸附VOCs，通过高温脱附将浓缩后的VOCs送入RTO进行高温氧化分解，; http://www.ksxinlan.cn/Article/bdtxyfqclgytjxlhb_1.html

[鑫蓝动态]半导体制造工艺有机废气处理设备[ 2025-03-22 00:00 ]: 鑫蓝废气处理设备－电子厂涉及的行业很多，不同行业在工艺上有一定差异，产生的废气种类也有一定的差异，今天就从半导体行业入手为大家介绍电子厂废气处理。电子厂半导体废气处理主要针对半导体行业有机废气和毒性气体的治理，我们尝试使用筒式沸石转轮废气处理技术。半导体行业产生的有机废气，主要可以分为，半导体制造工艺有机废气，和半导体封装工艺产生的有机废气。　　半导体制造工艺　　1、电子行业生产厂家处理有机废气和毒气的处理方法　　现在，半导体制造过程中排放的含有有; http://www.ksxinlan.cn/Article/bdtzzgyyjfqclsb_1.html

[鑫蓝动态]半导体行业的废气有哪些，如何处理？[ 2024-01-18 00:00 ]: 半导体行业的废气主要包括一般气体废气、含毒性物质的废气、有机废气和含有酸性/碱性物质的废气。其中，有机废气包括非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等，酸碱废气包括氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。这些废气的产生主要来自半导体制造过程中的清洗、刻蚀、显影等环节。对于这些半导体废气处理，需要根据其性质选择合适的方法，如洗涤法、吸附法、燃烧法等。同时，还需要注意控制处理效果，确保废气排放符合的相关标准。半导体废气处理方法有多种，主要包括以下几种：热氧化法; http://www.ksxinlan.cn/Article/bdtxydfqynxrhcl_1.html

[鑫蓝动态]半导体工业废气处理[ 2023-07-18 00:00 ]: 半导体废气的成分和废气处理工艺方案可能会因具体的工艺过程和废气排放点而有所不同。以下是一般情况下常见的半导体废气成分和废气处理工艺方案的示例： 1.半导体废气成分：气体：常见的废气成分包括氨气（NH3）、二氧化硫（SO2）、氮氧化物（NOx）、氯化氢（HCl）、二氧化碳（CO2）、挥发性有机化合物（VOCs）等。悬浮颗粒物：半导体制造过程中可能产生微小的颗粒物，如硅尘、金属氧化物等。 2.半导体废气处理工艺方案：; http://www.ksxinlan.cn/Article/bdtgyfqcl_1.html

[鑫蓝动态]鑫蓝环保-半导体废气处理-沸石转轮+催化燃烧[ 2023-03-24 00:00 ]: 新材料行业半导体废气处理的方法。半导体行业与传统材料相比，新材料产业具有技术高度密集，研究与开发成本高，产品的附加值高，生产与市场的强，应用范围广，发展前景好。一、半导体制造工艺过程中挥发各种有机废气，废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。这些废气排放主要可以分为四类：酸碱气体、有机废气。　　1、酸碱废气主要来自扩散、CVD、CMP及刻蚀等工序，这些工序使用酸碱清洗液对晶片进行清洗。目前，在半导体制造工艺中使用普遍的清洗溶剂为过氧化氢和硫酸的混合剂。　　2、; http://www.ksxinlan.cn/Article/xlhbbdtfqclfszlchrs_1.html

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