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半导体行业废气处理工艺推荐-鑫蓝环保

文章出处：原创网责任编辑：蔡作者：蔡人气：-发表时间：2025-07-28 00:00:00【大中小】

半导体行业在生产过程中会产生多种废气，包括挥发性有机化合物（VOCs）、酸性气体、碱性气体、有毒气体以及颗粒物等。这些废气若未经有效处理直接排放，会对环境和人体健康造成严重危害。以下是针对半导体废气处理的推荐工艺，结合了技术成熟度、处理效率、运行成本及环保要求等因素：

一、挥发性有机化合物（VOCs）处理工艺

沸石转轮吸附浓缩+RTO（蓄热式热氧化）

工艺原理：沸石转轮利用其多孔结构吸附VOCs，通过高温脱附将浓缩后的VOCs送入RTO进行高温氧化分解，生成CO?和H?O。

优势：处理效率高（可达99%以上），适用于大风量、低浓度的VOCs废气处理；沸石转轮可重复使用，运行成本低；RTO热回收效率高，节能效果显著。

适用场景：半导体制造过程中的光刻、蚀刻、清洗等环节产生的VOCs废气。

活性炭吸附+催化燃烧

工艺原理：活性炭吸附VOCs，当吸附饱和后，通过热空气脱附将VOCs送入催化燃烧装置，在催化剂作用下低温氧化分解。

优势：设备简单，投资成本低；适用于低浓度、小风量的VOCs废气处理。

局限：活性炭需定期更换，运行成本较高；催化燃烧需消耗辅助燃料，能耗较大。

二、酸性气体处理工艺

湿式洗涤塔

工艺原理：废气通过喷淋塔，与碱性洗涤液（如NaOH溶液）充分接触，发生中和反应，去除酸性气体。

优势：处理效率高，可同时处理多种酸性气体；设备简单，操作方便。

适用场景：半导体制造过程中的蚀刻、清洗等环节产生的HF、HCl等酸性气体。

干式吸附法

工艺原理：利用碱性吸附剂（如活性炭、分子筛等）吸附酸性气体，达到净化目的。

优势：无需喷淋系统，设备简单；适用于低浓度酸性气体的处理。

局限：吸附剂需定期更换，运行成本较高；处理效率受吸附剂性能影响。

三、碱性气体处理工艺

湿式洗涤塔

工艺原理：与酸性气体处理类似，废气通过喷淋塔，与酸性洗涤液（如稀硫酸溶液）充分接触，发生中和反应，去除碱性气体。

优势：处理效率高，可同时处理多种碱性气体；设备简单，操作方便。

适用场景：半导体制造过程中产生的NH?等碱性气体。

四、有毒气体处理工艺

化学吸收法

工艺原理：针对特定有毒气体（如SiH?、PH?、AsH?等），选择合适的吸收剂进行化学吸收，转化为无害或低毒物质。

优势：处理效率高，可针对性处理特定有毒气体；吸收剂可循环使用，降低运行成本。

局限：需根据有毒气体种类选择合适的吸收剂；吸收过程可能产生副产物，需进一步处理。

燃烧法

工艺原理：将有毒气体送入燃烧炉，在高温下与氧气反应，生成无害物质（如CO?、H?O等）。

优势：处理彻底，适用于高浓度有毒气体的处理；可回收燃烧产生的热量，降低能耗。

局限：需消耗辅助燃料，运行成本较高；燃烧过程可能产生二次污染，需严格控制燃烧条件。

五、颗粒物处理工艺

布袋除尘器

工艺原理：废气通过布袋除尘器，颗粒物被滤袋截留，净化后的气体排出。

优势：处理效率高，可去除微小颗粒物；滤袋可清洗或更换，运行成本较低。

适用场景：半导体制造过程中产生的粉尘、颗粒物等。

六、综合处理工艺推荐

针对半导体行业废气成分复杂、排放量大的特点，推荐采用组合工艺进行综合处理。例如：

VOCs+酸性气体+碱性气体综合处理：采用沸石转轮吸附浓缩+RTO处理VOCs，同时设置湿式洗涤塔处理酸性气体和碱性气体，实现多种废气的高效协同处理。

有毒气体+颗粒物综合处理：针对有毒气体采用化学吸收法或燃烧法进行处理，同时设置布袋除尘器或静电除尘器去除颗粒物，确保废气达标排放。

七、工艺选择注意事项

废气成分分析：在选择处理工艺前，需对废气成分进行详细分析，了解废气中各组分的浓度、性质及排放规律。

处理效率要求：根据环保法规及企业自身要求，确定废气处理效率目标，选择能够满足要求的处理工艺。

运行成本考虑：综合考虑设备投资、运行能耗、维护费用等因素，选择经济合理的处理工艺。

环保法规遵循：确保所选处理工艺符合国家和地方环保法规要求，避免因违规排放而面临处罚。

鑫蓝环保科技（昆山）有限公司多年来专注于半导体废气处理设计、制造和安装。我们产品有RTO蓄热焚烧、RCO蓄热催化燃烧、CO催化燃烧、TO直燃炉、有机废气处理设备、冷凝回收、防爆除尘器、酸碱废气处理、滤筒除尘器、防爆除尘器、单机除尘器、仓顶除尘器、旋风除尘器、洗涤塔、活性炭吸附箱、静电除油设备等。