- [鑫蓝动态]二氯硅烷分装和真空系统废气处理工艺[ 2025-05-28 00:00 ]
- 二氯硅烷(SiH?Cl?)分装及真空系统废气处理工艺需结合其化学特性(易燃、有毒、遇水水解)和工艺安全要求,设计分装流程与废气净化方案。以下是分步说明: 一、二氯硅烷分装工艺 系统设计原则 密闭性:全程采用双机械密封、真空夹套管道,避免泄漏。 惰性化:分装前用高纯氮气(N?)吹扫系统,确保氧含量<1ppm,防止与二氯硅烷反应。 压力控制:通过减压阀和背压阀维持分装压力≤0.
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