当前位置：首页 » 鑫蓝资讯 » 鑫蓝动态 » 二氯硅烷分装和真空系统废气处理工艺

二氯硅烷分装和真空系统废气处理工艺

文章出处：原创网责任编辑：蔡作者：蔡人气：-发表时间：2025-05-28 00:00:00【大中小】

二氯硅烷（SiH?Cl?）分装及真空系统废气处理工艺需结合其化学特性（易燃、有毒、遇水水解）和工艺安全要求，设计分装流程与废气净化方案。以下是分步说明：

一、二氯硅烷分装工艺

系统设计原则

密闭性：全程采用双机械密封、真空夹套管道，避免泄漏。

惰性化：分装前用高纯氮气（N?）吹扫系统，确保氧含量<1ppm，防止与二氯硅烷反应。

压力控制：通过减压阀和背压阀维持分装压力≤0.5MPa，防止超压风险。

分装流程

储罐→气瓶：

a.储罐出口经金属波纹管连接分装台，气瓶固定于防爆柜内。

b.开启真空泵将气瓶抽至-0.095MPa，验证气密性。

c.缓慢开启储罐阀门，通过质量流量计控制分装量（误差±1%）。

d.分装完成后，用N?吹扫管道残留气体。

安全措施

泄漏检测：配置红外气体探测器（量程0-10ppm），联动紧急切断阀（ESD）。

防爆设计：分装区域按ExpzIICT4防爆等级设计，配备防静电接地和火花探测器。

二、真空系统废气处理工艺

废气来源与特性

来源：分装抽真空、设备泄漏、尾气排放。

成分：SiH?Cl?（主成分）、HCl（水解产物）、未凝缩气体（N?、Ar等）。

处理工艺流程

预处理：

a.冷凝回收：废气通过-40℃深冷器，回收90%以上SiH?Cl?（回用至储罐）。

b.气液分离：去除冷凝液滴，防止后续设备腐蚀。

核心处理：

a.干式吸附：活性炭纤维（ACF）吸附床（耐温150℃，吸附容量≥20wt%），处理效率≥95%。

b.催化氧化：未吸附废气进入贵金属催化剂床（Pt/Pd，350℃），将SiH?Cl?转化为SiO?、HCl和Cl?。

c.碱液喷淋：20% NaOH溶液吸收HCl和Cl?，pH控制在8-10，废液送至废水处理站。

末端处理：

a.HEPA过滤：去除颗粒物（≥0.3μm，效率99.97%）。

b.活性炭吸附：深度净化残留VOCs（非甲烷总烃<10mg/m³）。

排放标准

执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）：

SiH?Cl?：≤5mg/m³HCl：≤50mg/m³Cl?：≤65mg/m³

三、工艺优化与安全控制

自动化联锁

分装压力与真空泵频率联锁，压力突变时自动停机。

废气处理系统与分装工艺同步启停，确保废气不直排。

应急处理

配置应急吸附罐（内装改性活性炭），突发泄漏时10秒内切换旁路。

事故水池（容积≥50m³）收集喷淋废液，防止二次污染。

维护要点

活性炭每6个月更换，催化剂每2年再生。

定期检测管道内壁腐蚀情况（厚度损失>10%时更换）。

四、总结

该工艺通过密闭分装、多级废气处理（冷凝+吸附+催化+喷淋）实现二氯硅烷的安全转移与废气达标排放，结合自动化联锁与应急措施，确保人员与环境安全。实际工程中需根据分装规模（如10-100kg/h）调整设备参数，并定期开展LDAR（泄漏检测与修复）检测。

鑫蓝环保科技（昆山）有限公司多年来专注于真空系统废气处理设计、制造和安装。我们产品有RTO蓄热焚烧、RCO蓄热催化燃烧、CO催化燃烧、TO直燃炉、有机废气处理设备、冷凝回收、防爆除尘器、酸碱废气处理、滤筒除尘器、防爆除尘器、单机除尘器、仓顶除尘器、旋风除尘器、洗涤塔、活性炭吸附箱、静电除油设备等。